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Front end of line considerations for progression beyond the 100 nm node ultrashallow junction requirements
C. Rinn Cleavelin, Billy C. Covington and Lawrence A. Larson Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 18(1) 346 (2000) https://doi.org/10.1116/1.591196
Possibility of Microwave-Controlled Surface Modification