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Overcoming Decomposition with Order-Reversed Quenching Obtained by Flash Melting

Ping-Zhan Si, Xiao-Fei Xiao, He Feng, Sen-Jiang Yu and Hong-Liang Ge
Chinese Physics Letters 30 (7) 078101 (2013)
https://doi.org/10.1088/0256-307X/30/7/078101

Front end of line considerations for progression beyond the 100 nm node ultrashallow junction requirements

C. Rinn Cleavelin, Billy C. Covington and Lawrence A. Larson
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 18 (1) 346 (2000)
https://doi.org/10.1116/1.591196

Recuit pulsé de semiconducteurs par hyperfréquences. Etude de la répartition de la puissance dans l'échantillon

H. Jaouen, P. Chenevier, G. Kamarinos and G. Pananakakis
Revue de Physique Appliquée 19 (4) 319 (1984)
https://doi.org/10.1051/rphysap:01984001904031900