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J. Physique Lett.
Volume 38, Numéro 23, décembre 1977
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| Page(s) | 473 - 476 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyslet:019770038023047300 | |
J. Physique Lett. 38, 473-476 (1977)
DOI: 10.1051/jphyslet:019770038023047300
Groupe de Spectroscopie Electronique, Faculté des Sciences, 51062 Reims, France
8280P - Electron spectroscopy (x-ray photoelectron (XPS), Auger electron spectroscopy (AES), etc.).
7870E - X-ray emission spectra and fluorescence.
Key words
Electron spectrometry -- Photoelectric effect -- Microanalysis -- X-ray analysis -- X-ray photoelectron spectra -- Electron probes
DOI: 10.1051/jphyslet:019770038023047300
X-ray analysis by electron spectroscopy
J. CazauxGroupe de Spectroscopie Electronique, Faculté des Sciences, 51062 Reims, France
Abstract
By the use of a special arrangement and with the help of the X-ray photoelectric effect, it is possible to measure characteristic X-ray emission lines with an energy resolution of 0.1 eV-1 eV and a spatial resolution of one micron. Light elements can also be detected and applications in electron probe analysis are pointed out.
Résumé
En utilisant l'effet photoélectronique X et à l'aide d'un dispositif spécial, il est possible de mesurer les raies d'émission X avec une résolution en énergie de 0,1 eV-1 eV et une résolution spatiale de 1 micron; les éléments légers peuvent aussi être détectés et les applications possibles en microanalyse X sont indiquées.
8280P - Electron spectroscopy (x-ray photoelectron (XPS), Auger electron spectroscopy (AES), etc.).
7870E - X-ray emission spectra and fluorescence.
Key words
Electron spectrometry -- Photoelectric effect -- Microanalysis -- X-ray analysis -- X-ray photoelectron spectra -- Electron probes