Numéro |
J. Physique Lett.
Volume 39, Numéro 7, avril 1978
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Page(s) | 90 - 93 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jphyslet:0197800390709000 |
DOI: 10.1051/jphyslet:0197800390709000
Remarques sur les aberrations des lentilles électrostatiques unipotentielles accélératrices
G. Slodzian et A. FiguerasLaboratoire de Physique des Solides Université de Paris-Sud, Bât. 510, 91405 Orsay Cedex, France
Abstract
Chromatic and spherical aberrations from a three aperture symmetrical electrostatic lens are compared in two working modes, an accelerating and a retarding mode. It is concluded that the first mode leads to lower aberrations. Optical systems acting on secondary emitted particles or producing small probes could benefit from the optical properties of accelerating lenses.
Résumé
On compare les aberrations de sphéricité et de chromaticité d'une lentille électrostatique symétrique à trois électrodes lorsqu'elle fonctionne suivant un mode soit accélérateur, soit retardateur. Le premier type de fonctionnement conduit à des aberrations plus faibles. Les montages optiques utilisant des particules issues d'émissions secondaires, la production de sondes fines, pourraient bénéficier des propriétés optiques des lentilles accélératrices.
0780 - Electron and ion microscopes and techniques.
4180D - Electron beams and electron optics.
Key words
aberrations -- electrostatic lenses -- spherical aberrations -- three aperture symmetrical electrostatic lens -- chromatic aberrations