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J. Physique Lett.
Volume 44, Numéro 1, janvier 1983
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| Page(s) | 33 - 38 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyslet:0198300440103300 | |
DOI: 10.1051/jphyslet:0198300440103300
Oxygen segregation on a dislocation core in germanium studied by electron energy loss spectroscopy
A. Bourret1, C. Colliex2 et P. Trebbia21 Centre d'Etudes Nucléaires de Grenoble, Département de Recherche Fondamentale, Section de Physique du Solide, 85X, 38041 Grenoble Cedex, France
2 Laboratoire de Physique du Solide, Université de Paris Sud, 91405 Orsay, France
Abstract
Nanoanalyses performed on a dislocation core in germanium give evidence of oxygen precipitation : a few hundreds of oxygen atoms at a mean concentration of 5 % were detected. A radiation induced oxygen desorption is also observed under the electron beam for which a mixed knock-on and ionization process is proposed. This phenomenon is the main limiting factor for a more quantitative analysis.
Résumé
Des analyses à l'échelle du nm sur le coeur de dislocation dans le germanium ont mis en évidence la présence de l'oxygène : quelques centaines d'atomes d'oxygène à une concentration moyenne de 5 % sont détectés grâce à un microscope électronique à balayage muni d'un filtre de vitesse. Une désorption d'oxygène induite par les électrons est observée sous le faisceau. Ce phénomène est interprété comme étant la succession d'un processus d'ionisation puis de diffusion assistée par choc à l'interface oxyde-germanium.
6170J - Etch pits, decoration, transmission electron microscopy and other direct observations of dislocations.
6170Y - Interaction between different crystal structure defects.
6475 - Solubility, segregation, and mixing.
7920K - Other electron surface impact phenomena.
Key words
electron energy loss spectra -- elemental semiconductors -- germanium -- impurity dislocation interactions -- precipitation -- scanning transmission electron microscope examination of materials -- segregation -- Ge -- O segregation -- semiconductor -- STEM -- radiation induced O desorption -- dislocation core -- electron energy loss spectroscopy -- precipitation -- knock on -- ionization process